研發(fā)國內(nèi)首套超精密主動減振器

本報訊（記者 程墨 通訊員 高翔）7月10日，華中科技大學(xué)與武漢格藍(lán)若智能技術(shù)股份有限公司簽署成果轉(zhuǎn)化合作協(xié)議，由后者出資8000萬元，對華中科技大學(xué)陳學(xué)東院士團隊超精密主動減振技術(shù)進(jìn)行產(chǎn)業(yè)轉(zhuǎn)化。

據(jù)悉，陳學(xué)東院士團隊“二十年磨一劍”，創(chuàng)新性地研發(fā)了準(zhǔn)零剛度、頻變阻尼、協(xié)同控制等超精密主動減振核心技術(shù)，突破了降頻率與保承載、減共振與抑高頻、減振動與穩(wěn)位姿三大技術(shù)矛盾，解決了高性能主動減振關(guān)鍵核心技術(shù)難題。

超精密主動減振器是高端制造裝備、精密儀器設(shè)備的核心功能部件，是保證這些裝備高精度超穩(wěn)定運行的關(guān)鍵。產(chǎn)品應(yīng)用于半導(dǎo)體高端制造設(shè)備、高精密機械加工車床等領(lǐng)域。該產(chǎn)品不僅可以高效隔離外部振動，還通過實時采集振動信息，基于先進(jìn)的控制策略生成多維振動控制信號，精準(zhǔn)抑制各種內(nèi)外部擾動導(dǎo)致的臺體振動，實現(xiàn)被減振部件接近“絕對靜止”的狀態(tài)。

中國超精密主動減振技術(shù)長期落后于國外企業(yè)，格藍(lán)若和陳學(xué)東院士團隊一舉突破了超精密主動減振器關(guān)鍵技術(shù)壁壘，實現(xiàn)國產(chǎn)自主可控?；谇捌诤献餮邪l(fā)成果，格藍(lán)若推出超精密型、抗沖擊型、適用真空型等20余款超精密主動減振器。

《中國教育報》2024年07月12日第3版